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产品型号：

XPS

产品介绍：

XPS 作为一种重要的表面分析方法，广泛应用于固体材料表面的元素组分和化学态的研究，例如电池材料、催化剂、集成电路、半导体、金属、聚合物、陶瓷和玻璃等，可满足从研发到失效分析的广泛分析需求。

VersaProbe4 采用了全新设计的高灵敏度分析器，灵敏度是上一代的2倍，具有更低的检测限，能够实现从微区 (<10 um) 到大面积(>1 mm) 的高灵敏度化学态分析。

独特的微聚焦扫描X射线和SXI影像，通过类似SEM的SXI影像可以作为样品导航，实现100%精准地定义微区分析位置。

*SXI (Scanning X-ray Image): 扫描X射线激发的二次电子影像

产品特性：

1. 全新设计的高灵敏度和低噪音能量分析器

2. 使用微区XPS分析技术进行准确的深度剖析

3. 无需参数调整即可满足任何绝缘样品微区分析的荷电中和需求

4. 远程访问实现对仪器的远程控制

5. 自动化和远程控制提供灵活的工作环境

6. 用于AES分析的扫描电子枪配件

7. 专用REELS电子枪

8. Ar团簇离子枪（Ar-GCIB）

9. UPS（紫外光电子能谱）LEIPS（低能量反光电子能谱）配件

10. 冷热变温样品台

11. 4触点冷热变温样品台

12. 双阳极X射线源

13. 可拓展的样品进样室

14. 样品传送管

15. 样品预处理室

产品技术参数：