泽攸科技的JS10B台阶仪是一款高精度、高分解能力的手动台阶仪，以其一体花岗岩结构提供稳定可靠的重复性测量。该设备配备彩色摄像头，能够同时对样品和针尖进行成像，实现无畸变的观察样品区，方便用户精确定位特征区域。在探针扫描过程中，用户可以实时观察扫描区域，这大大提高了操作的便捷性和测量的准确性。

台阶仪可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。

长期以来，这一领域被国外产品垄断。而泽攸科技自主研发的JS系列高精度台阶仪，凭借突破性的关键技术，打破了国外垄断，是半导体国产化进程中不可或缺的一环。 

特点

量测精确、操作便捷、体积小巧、超高性价比

应用范围

▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

▲ 各式薄膜等应力测量

系统组成

▲ 台阶仪主机

▲ 电脑及显示器

选配品

▲ 隔振台

▲ 高度校准标样

技术参数

软件界面

扫描图

18nm样品

68um样品