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产品简介
AJA从1991年成立以来已经研发了上百种不同类型的磁控溅射靶,其中包括许多定制化溅射靶。根据基片几何形状、腔室结构、靶材材料组成和薄膜规格的不同需求可选择不同型号溅射靶,如矩形,圆形,塔式和圆柱形独特的模块磁铁组合·独有的模块化磁铁组合,磁铁完全和冷却水隔离,因而不会造成磁铁的劣化,进而导致溅射靶源性能的衰减。此种设计可以方便用户接触内部磁铁组合,便于靶枪的维护和清洁:
工作于平衡磁控状态
**化靶材利用率
进行高或低溅射速率
工作于多种非平衡磁控态
进行均匀性或者有意为之的不均匀性沉积
到达基片表面的高或低电子能量
溅射较厚的磁性靶材
方便更换或拆卸磁性靶材
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