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| 半自动分析探针台 | |||||
| 型号 | SHCV-6 | SHCV-8 | SHCV-12 | ||
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | ||
| 重量 | 约180KG | 约250KG | 约380KG | ||
| 电力需求 | AC220V,50~60HZ | ||||
| Chuck | 尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 | |
| X-Y轴行程 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | ||
| X-Y轴移动解析度 | 0.1um | ||||
| X-Y轴重复定位精度 | ±1um | ||||
| 移动速度 | ≥ 50 mm/sec | ||||
| Z轴行程 | 10mm | ||||
| Z轴移动解析度 | 0.1um | ||||
| Z轴重复定位精度 | ±1um | ||||
| Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析度 | 0.0001° | ||
| 样品固定方式 | 多孔真空吸附，独立分区控制 | ||||
| 切换样品功能 | 样品台快速拉出 | ||||
| 结构 | 同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用 | ||||
| 针座平台 | 规格 | O型平台，*多可放置8个针座 | O型平台，*多可放置10个针座 | O型平台，*多可放置12个针座 | |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程6mm并带自动锁定功能 | ||||
| 温控特性 | 温度范围 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ | |
| 温控精度 | 温度分辨率 ： 0.01°C | ||||
| 加热电源 | LVDC 低压直流 | ||||
| *低控温速率 | ±0.1°C /小时 | ||||
| 传感器 | Pt100 | ||||
| 制冷方式 | 液氮制冷或者压缩机制冷 | ||||
| 软件功能 | wafer map的编辑 | 光学特性 | 显微镜行程 | 2*2inch | |
| 仪器的接入 | 显微镜行程 | 1um | |||
| 数据的采集和图像化显示 | 放大倍数 | 20-4000X | |||
| 数据的分析 | CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 差异数据的标定Ink mark | 点针规格 | 点针精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
| 自定义Bin分 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 自动测试 | 漏电精度 | 10pA/100fA | |||
| 通讯接口：RS232/484TCP/IP/,GPIB等 | 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口 | |||
| 大功率规格 | 配置 | 大功率kelvin样品台 | 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 | |
| 大功率夹具线缆 | 可选附件 | 射频测试 | chuck快速拉出装置 | ||
| mult-pin 分流探针 | 卡盘镀金 | PCB板夹具 | |||
| 大功率保护模块（针座用） | 激光修复 | 液晶热点侦测套装 | |||
| 保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁 | 探针卡夹具 | 光强/波长测试接口部件 | |||
| 大功率仪器连接模块 | 屏蔽箱 | 高低温样品台（-80~200℃） | |||
| **测试电压 | 10KV | 加热台 | 显微镜倾仰装置 | ||
| **测试电流 | 500A（脉冲） | 应用方向 | 晶圆测试，功率器件半自动测试 | ||
| 特点： | |||||
| Si/SiC/GaN等晶圆测试 | 超高的测试精度和测试效率 | ||||
| 大功率晶圆测试 | 便捷的仪器接入 | ||||
| （-80~200℃）高低温Chuck | 半自动测试 | ||||
| 20~4000X光学显微放大 | 可升级全自动测试 | ||||
| 功能丰富的测试软件 | 可升级射频测试 | ||||
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