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*分辨率:
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*仪器原理:
其他分散方式:
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Park NX20 300mm是业界**大样品原子力显微镜,支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计,可有效地检测整个300mm晶圆,且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台,但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS,通常是0.3 Å RMS的水平。
经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求,并使Park NX20的扫描过程尽可能高效和便于使用。通过我们的“批处理模式(Program Mode)”界面,用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的**。
NX20 300 mm进行了全新设计,可达到大样品的**测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围,让工程师可以更快捷、更简便、更精确地开展工作。
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