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用途：
CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品.
主要配置：
1.卧式炉体，双层炉体结构，水冷夹套设计。
2.炉膛内由发热元件，保温层，测温热电偶，监测热电偶组成
3.发热元件沿炉膛内壁均匀布置，有利于加热，温度均匀性好
4.PLC加触摸屏/工控机操作方式，有报警功能，自动化程序高,安全可靠
技术特征：
1.采用进的控制技术，能精确控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
2. 采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
3. 采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
4. 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
5. 采用全新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。
产品规格：
参数型号 | VCVD-0508- SIC | VCVD-1218- SIC | VCVD-1520- SIC |
工作区尺寸W×HXL（mm） | 600×600×1200 | 1000×1000×1200 | 1200×1200×2000 |
装载重量（kg） | 300 | 1000 | 2000 |
温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性（℃） | ±7 | ±10 | ±10 |
加热功率（kW） | 130 | 300 | 500 |
极限真空度（Pa） | 20 | 20 | 20 |
压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
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