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用途：可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理.
特点：
●采用先进的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
●采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
●采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
●对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
●采用防腐蚀真空机组设计，持续工作时间长，维修率低。
沉积炉主要配置
●炉门：丝杠升降//液压升降/；手动锁紧/自动锁圈锁紧
●炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
●炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
●加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
●工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
●真空泵和真空计---进口/国产
●人机界面：触摸屏/工控机
●电器元件：正泰/施耐德/西门子
参数\型号 | JR-CJL-Φ30×50 | JR-CJL-Φ60×80 | JR-CJL-Φ80×120 | JR-CJL-Φ100×150 | JR-CJL-Φ110×200 |
容积（L） | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
**温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
工作区尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
控温方式 | 日本岛电温控仪 | ||||
加热方式 | 电阻加热 | ||||
真空系统 | 抗污泵或滑阀泵+罗茨泵 | ||||
烧结气氛 | 碳氢气体等 | ||||
额定电源电压(V) | 380 | ||||
额定加热电压(V) | 根据设计确定，配置炉前变压器 | ||||
真空极限度(Pa) | 6X10ˉ²（真空冷态） | ||||
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