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膜厚测量仪
通过薄膜表面与基底材料反射光的干涉现象,可快速可靠地测量半透明及透明膜的厚度。非接触式测量,不会破坏测试样品。
NanoCalc测试系统主要包括:宽带光源、高性能线阵CCD光谱仪、传输光纤、样品测试台及测量分析软件。NanoCalc膜厚测量仪适合于在线膜厚测量,包括氧化层、氮化硅薄膜,感光胶片及其它类型的薄膜,NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷等物质上的抗反射涂层、抗膜涂层。
NanoCalc膜厚仪基本性能:
●基本型号:NanoCalc-UV/VIS/NIR & NanoCalc-UV/VIS & NanoCalc-VIS/NIR
●光谱范围:250~1100nm(UV/VIS/NIR) & 900-1700nm(512-NIR)
●膜厚分辨率:0.1nm
●测量时间:100ms~1s
●多达10层膜厚测量
●快速响应:在线测量
●基底材料:钢/铝/铜/陶瓷/塑料等
●新型号:NanoCalc-MIK中整合摄影机
●材料库: 400种材料的n和k值且可添加
●应用场合:氧化物/SiNx/感光保护膜/半导体膜
NanoCalc膜厚仪应用软件◆膜厚测量/n&k值测量◆用户自定义材料层结构◆自动调整积分时间◆层材料信息分层显示
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