立体开启式加热炉

用途：

适用于CVD工艺或其他热处理工艺；如ZNO纳米结构可控生长、氮化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等

特点：

★采用高级耐火纤维材料，隔热好、升温快、蓄热少、节能，炉体表面温度≤60℃

★取放物料方便快捷，只需一支卡箍便可完成密封，简化法兰安装过程，减少了炉管因安装造成损坏的可能

★微电脑控制，可编制升温曲线，自动升温、保温、降温与控制升温速率。具有P.I.D调节自整定、自学习功能

★配置超温、传感器故障等多种逻辑保护功能，安全可靠

★可根据客户需求升级配置计算机监控系统，实现100%仪表功能操作，并以曲线及数据表格形式记录存储实时温度曲线、历史温度曲线及报警记录参数

★炉体开启式结构，炉膛可向后翻转110度，易于取放工作管

★易磨损部位采用硬化技术处理，使炉材经久耐用

★炉管两端装配不锈钢双环密封法兰，保障炉管的气密性、保证真空以及气氛环境

★炉管卡箍式法兰接口，安装、取放物料方便快捷，安全、密封

★可选择真空或气氛保护等试验环境

技术参数：