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晶片退火炉
设备用途:
蓝宝石衬底片等晶片的退火
产品特点:
★具有超温、断偶、可控硅故障等报警保护,并在超温时能自动关闭加热器
★自动限流,低温自启动
★异常断电时能测量并显示炉膛内温度,仪表正常显示
★配有急停按钮,在设备出现故障时紧急关闭停止设备工作
★炉门平行侧开,炉门打开是热面自动朝里,背向操作者,并具有关闭到位自动锁紧装置,防止炉膛热损失。炉门开度:超过炉膛50mm以上
★配有帽口烟罩,可排放灼烧废气,但不能影响炉膛温场均匀性
★意大利进口莫来石轻质砖炉口坚固耐用
★正常使用情况下,发热元件寿命不小于3300小时
★配有万向底脚,方便移动
技术参数:
型号 | VKTH-18 |
炉膛尺寸(W*D*H)mm | 300×400×300 |
电源 V (Hz) | 380 (50) |
额定功率KW | 20 |
温度范围 | 室温-1800℃ |
**使用温度 | 1700℃ |
恒温精度 | ≤±1℃ |
温场均匀度 | ≤±5℃ |
热电偶 | B分度 |
加热元件 | 高温硅钼棒 |
升温速率: | 平均不小于5℃/min |
炉膛材质 | 陶瓷纤维 |
运转模式 | 程控运转(1-8模式)可编30段程序 |
时间设定 | 0~9999分钟 |
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