专为超大纳米平板扫描器测量而设计的自动化原子力显微镜系统

随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。

Park NX-TSH能获得关于表面粗糙度，台阶高度，关键尺寸和侧壁信息的高分辨率图像和数据，从而为大型纳米级尺寸样品测量提供**解决方案。

Park NX-TSH的全自动特点:

• 可灵活掌握自动，半自动和手动模式

• 为每个自动化程序提供可编辑测量方法

• 实时监控测量过程

• 自动分析获取测量数据

- 自动换针器（ATX）

ATX通过模式识别自动定位探针，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。

-电离系统可提供更稳定的扫描环境

Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个极其稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降至*低。

Park NX-TSH技术参数：

*本技术参数是可定制的。可咨询Park原子力显微镜，以获取更多信息。

系统技术参数：

样品尺寸： 520 mm X 520 mm X12 mm， 10kg

电动式X方向载物台：行程可达625 mm，±3 μm分辨率

电动式Y方向载物台：行程可达525 mm，±3 μm分辨率

电动式Z方向载物台：Z轴移动距离为25 mm， 0.08 μm分辨率，重复性<1μm

电动式对焦台：Z轴行进光学距离为9 mm

COGNEX图案识别：图案校对分辨率为1/4像素

扫描器性能：

XY扫描范围：100 μm ×100 μm

XY分辨率：0.15 nm

Z扫描范围：15 μm

Z分辨率：0.016 nm

AFM和XY移动平台控制器

ADC：18个频道，4个高速通道，X，Y和Z位置传感器(24-位ADC)

DAC:12个频道，2个高速DAC通道，X，Y和Z的定位(20-bit DAC)

合规

CE认证：SEMI S2 / S8标准

设施要求

待机室温：10°C?40°C

工作室温：18°C?24°C

湿度：30％至60％（不凝结）

地板振动要求：VC-E（3微米/秒）

噪音：低于65 dB

气动式：真空度：-80 kPa

CDA（或N2）：0.7 Mpa

电源额定值：208V-240 V，单相，17 A（**）

总耗电量：咨询Park原子力显微镜

接地电阻：低于100欧姆