广东以色列理工学院博士后惠飞博士在提及Park NX-Hivac的论文"Scanning probe microscopy for advanced nanoelectronics"被<<Nature Electronics>>收录，成为2019 Park AFM奖学金的**位获得者。

Park NX-Hivac

用于失效分析的高真空扫描

• 先进的StepScan自动化扫描和更快的激光校准技术

• 多样品模块

• Park招牌技术便捷的针尖替换

• 大型真空腔300mm X 420mm X 320mm

• 提供超长观测距离的同轴光学设备

• 用于提高灵敏度的高真空SSRM

Park NX-Hivac 是一种尖端的高真空原子力显微镜，旨在为在高度掺杂的半导体进行精确的失效分析。Park NX-Hivac应用于失效分析的易用型高真空原子力显微镜，提供可重复且容易实现的高清晰度和低噪声的测量。

Park NX-Hivac

用于失效分析应用的高真空扫描

Park NX-Hivac允许故障分析工程师通过高真空SSRM提高测量的灵敏度和分辨率。高真空扫描能提供比大气或干燥的N2条件下更高的精度、更好的可重复性，还能减少针尖和样品的损伤，用户从而可以在失效分析应用中测量更广阔范围的涂料浓度和信号响应。

在高真空条件下进行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-扫描扩展电阻显微镜)测量能够减少所需的针尖-样品相互作用力，这可显著减少对样品和针尖的损伤，并能延长每个针尖的寿命，使扫描更方便，并能通过提高空间分辨率和信噪比从而提供更准确的结果。高吞吐量、低成本、高精度使得NX-Hivac成为为故障分析工程师提供的高真空SSRM测量的**选择。

Park NX-Hivac

高级自动化特性

NX-Hivac可将用户所需的输入操作*简化，用户可以更快地扫描从而提高实验室的实验成果。

包含机动平台的StepScan自动化

StepScan为用户提供了对设备进行编程的能力，以快速且简单地对多个区域进行成像。NX-Hivac只需用户尝试五个操作步骤扫描样本：扫描、提升悬臂、将机动平台移动到用户定义的坐标、进针和重复。这极大地提高了测量效率，并将所需的用户输入操作减少到*低限度。

机动激光校准

帕克(Park)的机动式激光束校准模块允许用户在无需输入任何操作的情况下自由地进行自动测量程序。利用我们先进的预对准悬臂架，激光束在探针交换时聚焦在悬臂上。然后通过电动定位旋钮沿X轴和Y轴优化激光光斑位置。

燕尾式锁定

AFM扫描头可以快速且容易地固定到燕尾形轨道上，具有几微米的定位重复性。

多样品载台

磁性载台*多可以容纳五个独立的样品。通过减少激活真空泵和排气口的需求从而提高测量效率。

大型真空室

NX-Hivac具有300mm X 420mm X 320mm的腔室尺寸，允许用户扫描更大的样品尺寸并在不破坏真空密封的情况下将更多的样品放入真空室样品台上。

简单地探针和样品更换

独有的设计能让用户轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂，无需再进行繁杂的激光校准工作。

可用手轻易更换

NX-Hivac有几个可用性特征，这使得它比其他**的AFM更加方便和有效。

Park SmartScan™

无论您的AFM需求集中在学术研究，还是工业计量或故障分析，NX-Hivac的智能扫描自动模式都提供了一个流水线系统，以生成高质量的AFM数据。SmartScan还可帮助初次使用的学者在短时间内获得高质量数据。

Park Hivac Manager

NX-Hivac真空环境下自动控制

高真空度由Hivac Manger控制， 通过单击按钮进行逻辑和视觉控制，为优化真空条件和排气过程提供泵送。每个过程都通过颜色和示意图变化进行可视化监控，用户无需担心单击按钮后真空操作的顺序。既迅速又便捷的真空控制软件为用户带来易于使用的原子力显微镜操作和更好的测量效率。

自动真空抽放

NX-Hivac允许用户设置真空泵和排气的自动控制，进一步简化扫描过程，减少所需的人力投入。采用涡轮泵和干式泵，平均泵速在10～5torr＜5min。

闭环XY和Z轴扫描仪

为样品和探针针尖而采用的两个独立的闭环XY和Z挠曲扫描仪，可保证用户的扫描非常精确。NX-Hivac提供平面和正交的XY扫描，低残余弯曲，在整个扫描范围内提供小于1nm的平面外运动。NX-Hivac还具有15 μm扫描范围的高速Z轴扫描仪，Z轴扫描仪的非线性度小于0.5%。这提供了精确的2D和3D测量，而再也不需要软件处理。

低噪声XYZ位置传感器

NX-Hivac的特色是Park AFM的行业**的低噪声Z探测器，它能够精确地测量样品形貌，而低噪声XY闭环扫描将前后扫描间隙*小化到小于扫描范围的0.15％。

24位数字电子

使用NX-Hivac中特有的NX系列标志的电子控制器，可使浪费的时间*小化，精度**化。我们的控制器是一个全数字，24位高速设备，它的真正非接触模式使用户能够执行广泛的扫描范围。该控制器具有低噪声设计和高速处理单元，可满足精密电压和电流测量以及纳米级成像。嵌入式电子器件还具有数字信号处理的特点，允许用户容易地分析测量和成像。

技术参数/核心参数：

扫描仪

XY 扫描仪: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)

Z 扫描仪: 15 μm

光学显微镜

物镜: 10 x

5M pixel CCD

样品台

XY 平台行程: 22 mm x 22 mm

样品大学: 50 mm x 50 mm， 厚度厚至20 mm

物理信息

真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm (外部)

250 mm x 320 mm x 270 mm (内部)

系统(包含花岗石&气泵):

800 mm x 950 mm x 1304 mm

软件

SmartScan: 帕克AFM 操作软件

XEI: AFM 数据分析软件

Hivac Manager: 自动真空控制软件

高真空

真空等级: 通常小于1 x 10-5 torr

泵速: 5 min内达到10-5 torr

电子

ADC: 18 通道

4个高速ADC通道(50 MSPS)

用于X、Y和Z位置传感器的24位ADC

DAC：12个通道

2个高速DAC通道道(50 MSPS)

用于X、Y和Z定位的20位DAC

3通道集成锁相放大器