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Copolymer光刻胶是基于MMA和8.5%甲基丙烯酸的混合物。Copolymer(8.5) MAA并PMMA光刻胶堆叠，是常用在双层剥离工艺实现独立CD控制。标准Copolymer光刻胶被配制在乳酸乙酯和可提供宽范围的粘度(薄膜厚度)。所有PMMA和Copolymer光刻胶的包装：从500毫升到20升。
相关溶液：
1）显影液：MIBK:IPA
2）去胶剂：Remover PG
3）稀释剂：A Thinner
一般储存温度：
10-27℃
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