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红外气体传感器 Gasboard-2060
红外气体传感器 Gasboard-2060

参考价格

面议

型号

Gasboard-2060

品牌

四方仪器

产地

湖北武汉

样本

暂无
四方光电(武汉)仪器有限公司

高级会员

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第2年

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生产商

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红外气体传感器.jpg

产品名称:红外气体传感器

产品型号:Gasboard-2060


红外气体传感器产品概述

红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。


红外气体传感器产品特性

  • 使用NDIR技术,多气体监测支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

  • 响应时间快,高灵敏度

  • 无耗材

  • 模拟/数字通信

  • 模块化设计,便于集成


红外气体传感器技术参数

检测原理NDIR
检测气体SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重复性±0.5%
线性±1%F.S.
检测限1ppm


创新点

使用NDIR技术,多气体监测支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

响应时间快,高灵敏度

无耗材

模拟/数字通信

模块化设计,便于集成

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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
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