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DHM VS 白光干涉仪WLI			DHM VS 共聚焦激光扫描显微镜			DHM VS 接触式表面轮廓仪
2 点主要区别： 1、 DHM®相干长度是400μm，而WLI只有15μm。实际上，这意味着与DHM®聚焦比得上标准的光学显微镜。相反，使用WLI，用户需要搜索条纹，倾斜样本使样本在这个表面小范围内测量。 2、DHM®是一个更灵活的仪器，因为它使用物镜通过玻璃或者浸入式从光学显微镜测量。WLI要求特定的干涉仪物镜有限定且复杂的玻璃补偿。			2点主要区别： 1、 DHM®垂直分辨率并不依赖于放大倍数，即显微镜物镜的数值孔径(NA)。与此相反，CLSM的垂直分辨率依赖于焦点的深度，而其会降低物镜的NA。 2、 DHM®垂直分辨率达到亚纳米精度，而CLSM使用高NA物镜对样品形貌*终的垂直分辨率分辨率只是几纳米。			主要区别：除了相比任何扫描方法的优势外，DHM®是一个非接触式光学表面光度仪，由于非接触方法可防止任何接触损害。采用表面光洁度轮廓仪(如探针式轮廓仪和AFM)的测量，可能会因表面的弹性变形、探针拖动污垢或损坏的探针而受到影响。
Features	DHM	WLI	Features	DHM	CLSM	Features	DHM^®	轮廓仪
时间分辨测量	√	×	时间分辨测量	√	×	时间分辨率测量	√	×
样品设置，不需要倾斜样品	√	×	对曲率的数字补偿有很大的深度	√	×	快速筛选表面，寻找感兴趣区域	√	×
直观聚焦的大垂直可视化范围	√	×	可拆卸和灵活的仪表头	√	×	通过玻璃和浸入式测量	√	×
用标准光学显微镜对玻璃进行测量	√	×				非接触、无损方法	√	×
可拆卸和灵活的仪表头	√	×

参数
DHM型号	T1000	T2100
激光源数量	1	2
工作波长(±1.0nm)	666 nm	666 nm， 794 nm
激光波长稳定性	0.01 nm/°C@666nm
样品台	手动或电动 XYZ 三轴样品台，**移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm
物镜	放大倍数 1.25x 至 100x，可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等
电脑	Dell*工作站，Intel® 多核处理器，高性能显卡针对对 DHM®优化配置，小21寸显示器
专用软件	Koala专用数据采集分析软件，基于C++ 和 .NET 附加专用分析软件供不同应用分析(MEMS Analysis Tool，Cell Analysis Tool，Reflectometry Analysis)

性能
测量模式	单激光波长 666 nm	双激光合成波长8 μm
可用该测量模式的DHM型号	T1000， T2100	T2100
测量精度[nm]	1.04	1.0/5.0⁴
纵向分辨率[nm]	2.04	2.0/10.0⁴
测量重复性[nm]	0.024	0.02⁴/0.05⁴
动态可测纵向范围	**500 μm ⁴	**500 μm ⁴
**可测台阶高度	**1.0 μm⁴	**7.0 μm 4
**可测台阶高度	**3.5 μm ⁴	**22 μm 5
垂直校准	由干涉滤光片决定，范围±0.1 nm
图像采集时间	标准500 μs (*快可选10μs)
图像采集速率	标准30帧/秒1024x1024像素(*快可选1000帧/秒)
实时重建速率	标准25 帧/秒1024x1024像素(*快可选 100 帧/秒)
横向分辨率	由所选物镜决定，** 300 nm
视场	由所选物镜决定，范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm
工作距	**50倍于景深 (由所选物镜决定)
样品照明	*低1μW/cm2