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UTI-AlN-150S系列6"AlN模板(膜厚500nm)品牌
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| 规格 | |
| 衬底类型 | 硅 |
| 膜厚 | 500nm |
| HRXRD半高宽@(0002) | ≤1.5° |
| XRD粉末半高宽@(0002) | ≤0.22° |
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