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| 设备参数
适用陶瓷盘 | Φ360mm * 15mm、Φ305mm * 15mm | |
适用晶片 | 4 inch、6 inch | |
抛光机下盘 | 尺寸 | Φ872mm |
材质 | 不锈钢盘&抛光垫 | |
电机功率 | 7kw | |
转速范围 | 5～200rpm | |
*小转速控制量 | 1rpm（触摸屏中设定） | |
冷却 | 水冷式冰水机（8P） | |
盘温控制 | 0℃～50℃ | |
修盘方式 | 人工调节，伺服自动修盘 | |
抛光机上盘 | 控制方式 | 2轴独立控制，自动停止加工 |
抛头材质 | SUS410（可按客户要求定做） | |
加压气缸 | Φ100mm | |
压力范围 | 0～500kg | |
控制精度 | ±1kgf（触摸屏中设定） | |
电机功率 | 0.75kw | |
转速范围 | 5～200rpm | |
*小转速控制量 | 1rpm（触摸屏中设定） | |
抛光液供应系统 | 供给方法 | 循环泵（流量可以调节并实时监控） |
抛光液灌容量 | 20L（冷却、搅拌） | |
供液位置 | 中心供液 | |
补液方式 | 人工补液 | |
陶瓷盘固定 | 半自动上料装置，陶瓷盘定位载具 | |
去除率 | 具体视工艺及材料而定 | |
设备尺寸 | W2200mm * L2250mm * H2100mm | |
设备重量 | 约5000Kg | |
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