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产品详情
1、水平双腔布置,硬件成本低于两台单腔外延炉;
2、双腔工艺和维护独立,实现不停机连续生产；
3、兼容4/6寸晶圆外延生长,外延层质量优异;
4、全自动上下料，释放人工成本;
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