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TF☆ ☆ P☆ ☆ ☆ 型号 工作温度(℃) 炉管外径(mm) 加热区数量 加热区长度(mm) TFH：卧式型 1200：1200℃ 25：Φ25mm Ⅰ：单温区 150：150mm TFV：立式型 1500：1500℃ 30：Φ30mm Ⅱ：双温区 220：220mm TFR：回转型 1700：1700℃ 50：Φ50mm Ⅲ：三温区 290：290mm TFM：多工位型 60：Φ60mm 440：440mm TFP：高压型 80：Φ80mm TFC：CVD 100：Φ100mm TFE：PECVD TFG：气氛焙烧型 TFD：定制型
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