设备特点:

1.设备的充气组件主要包括质量流量计、电磁阀、混气罐，保障工艺气体流量的精确控制，不同气体均匀混合、安全隔离，并且可选载气系统组件，用于液态气源的使用，方便广泛的液态碳源的个性化选用，或合成导电金刚石电极液态硼源等的安全使用。2.抽气组件配备静音高效旋片式真空泵，以及快速满足高真空本底环境的涡轮分子泵系统。真空测量采用电阻规与电离规搭配的复合真空计，以及可大范围测量不同工艺气体压力的电容薄膜规系统。沉积气压的控制采用高精度比例调节阀全自动控制。3.冷却水组件配备多路水压、流量、温度的测量及软件自动监控，不同冷却部件相互独立，方便快速诊断故障，所有支路拥有独立的阀门开关，安全高效。

4.电气控制组件采用大尺寸人机界面液晶屏，配合PLC全自动控制，方便工艺配方编辑和导入;图形化曲线直观显示各参数变化及数值设备及工艺参数自动记录存档，方便问题追溯及数据统计分析。

5.工件架组件配置伺服电机控制基片台升降，可选石墨或紫铜基片台，温度通过热电偶进行测量6.机架组件根据客户需求可整体或分体式设计，满足客户搬运特殊要求。

7.封板组件整体美观大方，设备不同功能模块区域的封板可独立快速拆装或打开关闭，使用十分方便,