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磁控蒸发复合镀膜机JCPF2600品牌
北京泰科诺产地
北京样本
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设备型号:JCPF2600
镀膜方式:磁控溅射
真空腔室结构:SUS304 方箱式
真空腔室尺寸:L2600mmxH700mmxW260mm
极限真空:优于 5.0x10-5Pa
基片台尺寸:300mmx400mm向下兼容300mmx300mm
基片温度:常温
溅射靶:矩形平面靶1套,旋转柱状靶2套
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可选 )
占地面积:15000mmx5000mm
供电总功率:≥ 20kW 三相五线制
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