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定制-微波等离子体辅助原子层沉积系统品牌
毅睿/芯壹方产地
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微波等离子体辅助原子层沉积系统
Description:
●微波频率:2.45±0.025 GHz
●微波功率:≥3 KW连续可调
●可实现 <+/-3% 的均匀沉积
●气体:SiH4,NH3, N2O, Ar, N2, CF4，O2...
●极限压力:≤1X10-3 Torr
●尺寸:8英寸晶圆
●用途:SiO2，SixNx...etc.,
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