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技术优势
芯三代公司自主研发的高性能氮化镓材料外延生长设备，满足未来市场对设备更高产能要求的同时，具有高外延均匀性、低外延缺陷、低外延运行成本、长维护周期和易于维护等特性。
工艺性能
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