2

名称

单晶硅炉

3

电源电压

380V

4

电源频率

50Hz

5

加热方式、加热组件

电阻加热、石墨加热器

6

主加热器**功率

165KW

7

主加热器**加热电压/电流

55V/3000A

8

辅加热器**功率

60KW

9

辅加热器**加热电压/电流

50V/1200A

10

整机功率

≤240KW

11

炉内**温度

1600℃

12

冷态炉内极限真空度

﹤3Pa

13

生长晶体的直径范围

≦10″

14

熔料重量

Max  370kg

15

原料

多晶硅原料

16

主炉室尺寸

Ф1200×1400mm

17

旋转阀通径

¢360

18

副室+操作室尺寸

¢360×4600mm

19

籽晶拉速范围

0.1～10mm/min

20

籽晶快速

≥500mm/min

21

籽晶转速范围

2-30rmp

22

坩埚升速范围

0.02～1mm/min

23

坩埚转速范围

1-30rpm

24

籽晶在副室内有效行程

≥4000mm

25

主机总高

10242mm

26

主机占地面积

2518mm×1700mm

27

整机占地面积

5500mm×6500mm

28

进水量的要求（压力）

**0.40Mpa 压差0.2Mpa

29

冷却水用量/台

>25 m3/h

30

冷却水进水温度

25-28℃

31

氩气用量/台

0.3Mpa~0.7Mpa≈110L/min