设备特点：

• 1 电阻式碳化硅-单晶炉，电阻式石墨加热，改进型Lely方法的升华长晶技术，物理气相传输法(PVT)生长碳化硅单晶晶体；

• 2 采用前出料结构形式设备整体操作简单、布局合理，制造、装配过程均有严格品控；

• 3 主要组成部件：炉室组件、传动系统、加热系统、气路系统、真空系统、冷却系统、自动控制系统、报警系统、人机界面系统等；

• 4 自主研发的全自动计算机控制系统，可实现抽空、检漏、炉压、工艺气体流量控制、长晶过程的自动控制。

加热系统：

• 石墨加热器配置：上下两组独立石墨电阻加热器,独立温控，工艺亦可上下加热器同时温度 控制，上方15KW修饰加热器可修饰坩埚径向温度梯度，主加热器 60KW x 2 控制轴向温度梯度 

• 控制组件：PLC+PID（人机界面）

• 控制模式：温度控制/功率控制

•  温度检测：红外检测仪，上下各配置一个，上测温仪可移动量测坩埚边缘温度， 可以得到籽晶区径向温度梯度

• 加热功率：上方加热器15KW，下侧主加热器60KW x 2 

• **温度：2400℃

• 温控范围：1000-2400℃，精度：±1℃

• 温控功率精度：满量程范围内为设定值的±0.1% W

  
  

自动控制系统：

• 组成：集成机柜+泵阀操作单元+真空测量单元+加热控制单元+提升旋转控制单元+水路 检测单元+进气及压力控制单元+报警单元 

• 关键制程数据实时采集保存（温度、压力、加热功率、电流等，保存周期≥1年） 

• 其他非关键设备参数实时采集保存（保存周期≥3个月） 

• 具备温度，压力，电流，功率等制程参数实时采集并生成曲线 

• 报警记录，操作日志保存（保存周期≥6个月） 

• 可设定多组Recipe和离线编辑配置recipe 

• 压力单位显示为torr 

• 可远程监控设备运行状态，可与生产系统连接 

• 具备用户登录及账户管理系统，可以为不同的账户分配不同的权限