中国粉体网讯 物理气相沉积(PVD)指的是利用某种物理的过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原于转移过程。(PVD原理)PVD技术出现于二十世纪七十年代末,制备的薄[更多]
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