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推荐北京欧波同：陶瓷材料难以检测表征？试试这项技术

中国粉体网讯 由于具备密度低、耐高温、高比强、抗氧化、高化学稳定性和高导热性等一系列优点，陶瓷已经成为了半导体设备精密部件的常用材料。作为半导体生产设备的关键部件，精密陶瓷部件占整个半导体设备成本的10%以上，故其研发生产直[更多]