SiC单晶加工

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中国粉体网讯 SiC作为衬底材料，单晶SiC的表面粗糙度直接影响其在电子器元件中工作的效果与性能。为确保单晶SiC在半导体、衬底材料中的应用的稳定性，其表面粗糙度往往要达到纳米级或以下（工业要求Ra<0.3nm）。众所[更多]