半导体光刻设备

推荐合成石英玻璃：想“上天”，先轻点“膨胀”

中国粉体网讯 相较于其他低膨胀石英玻璃，SiO2-TiO2石英玻璃的热膨胀系数更低，在一定温度范围内甚至可以做到零膨胀或负膨胀，因此掺钛石英玻璃又被称为超低膨胀石英玻璃。超低膨胀石英玻璃具有极低的热膨胀系数，是半导体光刻设备[更多]