超精密光学元件

推荐中科院大连化学物理研究所研制出极低缺陷亚埃级粗糙度石英超光滑表面

中国粉体网讯 近日，中科院大连化学物理研究所化学激光研究中心研究员李刚、研究员金玉奇团队与生物能源化学品研究组合作，以自主合成的新型超细纳米氧化铈（CeO2）为抛光浆料，利用化学机械抛光（CMP）技术，加工出极低缺陷亚埃级（[更多]