多晶硅菜花

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中国粉体网讯多晶硅还原炉反应机理多晶硅还原炉内反应本质上属于原子范畴的气态传质过程，物料H2和SiHCl3沿着基体硅棒表面由下及上扩散，到达还原炉顶部后再由上及下回到底盘，经尾气管道排出还原炉在连续反应的过程中，H2和SiH[更多]