光刻工艺

推荐国产光掩膜基板，离“卡脖子”突围还有多远？——访上海光机所高端光电装备部徐学科部长

中国粉体网讯 2025年3月27日，由中国粉体网主办的2025第三届集成电路及光伏用高纯石英材料产业发展大会在江苏东海隆重召开，会议期间，我们与中国科学院上海光学精密机械研究所高端光电装备部的徐学科部长，对光掩膜基板工艺，其[更多]