晶圆级光电探测器

推荐MXene晶圆级光电探测器取得新进展

中国粉体网讯 二维过渡金属碳化物和氮化物MXene被公认为在电子和光电器件中具有重要应用潜力。然而,已报道的MXene薄膜的图案化方法难以兼顾效率、分辨率和与主流硅工艺的兼容性。例如,电子束光刻法可以实现较高的图案分辨率,但[更多]

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