石墨基座

推荐半导体零部件——SiC涂层石墨基座

中国粉体网讯 据日经中文网消息，东洋炭素将在全球增产用于半导体制造装置核心零部件。除在美国和中国强化工厂外，该公司还将开始在意大利生产，加上在日本的增产投资，到2027年将合计投资360亿日元。其在承载碳化硅晶圆的托盘（基座[更多]