中国粉体网讯 芯片制造对原材料硅片的品质,尤其纯度、缺陷密度、位错、杂质(氧、碳、金属离子)含量等方面要求极为严苛。作为承载多晶硅熔融料的石英坩埚,其与硅料及其熔融液直接接触,特别是在高温(1,420℃)生产环境下,其本身的[更多]
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