碳化硅零部件

推荐半导体设备的“核心力量”——碳化硅零部件

中国粉体网讯 碳化硅（SiC）是一种性能优异的结构陶瓷材料。碳化硅零部件，即以碳化硅及其复合材料为主要材料的设备零部件，其具备密度高、热传导率高、弯曲强度大、弹性模数大等特性，能够适应晶圆外延、刻蚀等制造环节的强腐蚀性、超高[更多]