陶瓷静电吸盘

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中国粉体网讯 静电卡盘又名静电吸盘，广泛应用于集成电路制造工艺中，特别是刻蚀、PVD、CVD等核心工艺中。目前普遍的静电吸盘技术主要是以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷作为主体材料。陶瓷材料具有良好的导热性，耐磨性及高硬度且对比金属材[更多]