中国粉体网讯 半导体机械手是半导体设备的重要零部件之一,通常由控制器、驱动器、手臂及末端执行器等部分组成,具有高洁净度、高平稳性、高精度、高效率和高可靠性的特点。其主要应用于半导体制造的前段工序,用于搬送、运输以及定位半导体[更多]
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