产品介绍

FOP MicroPZ微型渗压计的设计基于微型MOMS(微光学机械系统)压力传感器的非接触挠度测量技术，制造MOMS压力传感器时采用了光刻技术。

MOMS压力传感器有一个柔性隔膜，安装在密封真空腔体的顶部，其压力测量原理基于法布里-珀罗白光干涉技术。法布里-珀罗腔由两个反射镜面组成，一面是柔性隔膜的内表面，另一面是固定在引线光纤端面上的基准光学表面。压力会导致法布里-珀罗腔的长度发生变化。

由于光纤读数仪或数据记录仪可以在各种温度、电磁干扰（EMI）、湿度和振动条件下一致而准确地测量腔长，因此该系统即使在*恶劣的条件下也能获得可靠的压力测量结果。FOP-MicroPZ渗压计装有不锈钢保护套和一块多孔不锈钢透水石，从而确保它的机械坚固性，并且不锈钢透水石能保护传感元件不受固体颗粒的影响，从而只感测被测流体的压力。这款传感器包括外壳在内的总直径为4.8mm，总长度为54 mm。

这款微型渗压计是为工业和土木工程应用而设计的。MOMS压力传感器是在玻璃和硅片上批量生产的，采用了来自半导体行业的成熟光刻技术。

产品特点

• 高分辨率

• 本质安全

• 不受电磁干扰（EMI）/射频干扰（RF）/闪电的影响

• 长期可靠性

• 坚固的不锈钢结构

• 适用于恶劣环境

• 非常小的直径(4.8mm)

产品应用

• 大坝

• 隧道

• 废物贮存库

• 堤防或路堤

技术规范