**、产品简介：

韩国CTS公司的AIP300型CMP抛光机是一款12寸工业级CMP系统，可兼容4寸，6寸，8寸，12寸样品，可用于工厂及小批量量产。

第二、产品主要特色：

1、CMP抛光头：采用气囊加载模式，5区压力独立控制，可得到良好的工业级抛光效果；

2、自动上下片，自动抛光，干进干出；

3、抛光垫修整器：摆臂式设计，由13个传感器分别控制13个区域的下压力，可保证抛光垫高水平修整；

4、抛光垫修整器：具有在线修整与离线修整两种模式；

5，工艺数据可实时监测；

6、可存储多个Recipe；

7、带两个手臂及自动双面清洗设备

第三、核心技术参数：

四，应用实例：

?CMP工艺 Si CMP， 氧化物 CMP(BPSG， TEOS， ThOx)， 金属 CMP(W， Cu)， 介质膜，STI等

?工艺开发可协助客户进行各类材料/薄膜等的CMP工艺技术开发