水质级别

一级超纯水

EDI二级纯水

产水速度⁵

120L/h

10L/h

纯水分配速度³

2L/h

3L/h

定量取水

2L/h流速，100mL，1L，5L步进，范围0.1-60L

-

定量取水精确度⁴

0.25-60L范围内3%

-

产水电导率

0.055μs/cm(25℃)

0.2-0.07μs/cm(25℃)(典型)⁴

产水电阻率

18.2MΩ·cm(25℃)

5-15MΩ·cm(25℃)(典型)⁴

TOC含量（带紫外灯）

<2ppb²

<30ppb⁶

TOC含量（不带紫外灯）

<5ppb²

<30ppb⁶

微生物含量¹

<1cfu>

<1cfu>

颗粒物含量¹

<1>

<1>

颗粒物和微生物去除率

-

99%

进水压力

2-6.9bar

温度

2-30℃

电导率

<1500μs/cm(25℃)

TOC

<1000ppb

总硬度（max.CaCO₃）

360 ppm

游离氯

4 ppm

铁（总Fe含量）

<0.1ppm

锰

<0.05ppm

铝

<0.05ppm

溶解的CO₂

40ppm

污染指数（SDI）

<5

浊度

<1 NTU

pH值

4-10