中科科仪北京总部大“变身”

乘国产科学仪器发展东风展现新担当

在北京中关村，有这样一个历经时代变迁的科学仪器“老园区”——中科科仪北京总部所在地。历经六十余年的发展，她孕育了我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵等多项国内首台套科学仪器及核心零部件，囊获了多项国家和科学院重大科技成果奖。

透过老照片，我们仿佛又看到了，一代代科仪人为促进我国科学仪器事业发展付出努力的身影，他们在这里抒写着中国扫描电镜的发展历程，亲历着中国真空获得技术的发展步伐，更激励着新一代科仪人携手并肩，为国产科学仪器装备事业发展贡献力量。

中科科仪北京总部园区旧貌

拍摄于20世纪90年代

中科科仪北京总部园区旧貌

拍摄于2007年

园区楼宇新外观以科学院红为主色，契合着科仪六十余年的悠久历史传承和创新求发展的企业精神内核，为历史悠久的建筑注入新的生机活力，更代表了科仪人为国产科学仪器事业奋斗的满腔热情。

中科科仪北京总部园区新貌

今天，当我们再次穿行在中关村成府路上，走到最西端，北京大学和清华大学两座顶尖学府交汇处，看到的是新时代国产科学仪器企业的新面貌，期待的是国产科学仪器发展的新飞跃。

中科科仪总部园区对标科学仪器创新园区发展新模式，围绕产业链和创新链发展，成为电子光学类科学仪器及核心零部件创新策源地，推进科学仪器装备基地建设，逐步形成“龙头企业＋孵化”的共赢共生局面，打造科学仪器产业发展新生态。

科学仪器共享窗口——电镜DEMO中心

技术创新基地——研发实验室

习近平总书记强调：“要打好科技仪器设备、操作系统和基础软件国产化攻坚战，鼓励科研机构、高校同企业开展联合攻关，提升国产化替代水平和应用规模，争取早日实现用我国自主的研究平台、仪器设备来解决重大基础研究问题。”

科技仪器研发水平是创新实力的体现，也在很大程度上决定着基础研究和新技术、新产品开发的广度和深度。从历史上看，许多重大科学研究成果的突破，通常以科学仪器和技术手段的创新为先导。

上个世纪五十年代，中科院为了给科研工作创造条件，及时提供新的科学仪器装备，决定设置综合性院属工厂，正式成立中国科学院科学仪器厂（现在“北京中科科仪股份有限公司”前身，后文提到的“中国科学院科学仪器厂”、“北京科学仪器厂”、“科仪厂”，均指为“中科科仪”）。

中科科仪建厂初期的业务定位，即为全院制造特殊精密机械设备，承担电子学及光学仪器的制造和配套工作，曾经承担了我国第一颗人造地球卫星“东方红一号”的本体加工与总装工作。原中顾委常委、国务委员、中国科学院党组书记张劲夫同志曾在两弹一星回忆录中评价，“我们科学院在北京建立了科学仪器厂，作为人造卫星的总装厂”，“北京科学仪器厂……可以生产电子显微镜、电子探针仪，许多相当先进的科学仪器我们都能够自己生产出来，武装我们各研究所，还供应国内其他一些单位，水平很高。”

可以说，中科科仪诞生于国家需要之时，在当时“一穷二白”的特殊历史时期，为国家做出了许多重要的贡献。回顾科仪的发展历程，正是科仪人为中国科学仪器事业发展的奋斗史。

1975年，中科科仪研制成功中国第一台扫描电子显微镜，获科学大会一等奖和中国科学院重大科技成果奖一等奖，“科仪厂扫描电镜组”获颁国务院总理亲笔题词的荣誉证书。

电子显微镜正是认识亚微米以及纳米尺度微观世界的重要工具，已经广泛地应用到了自然科学的许多分支学科之中，并且极大推动了这些学科的发展。

1974年，中科院正式下达关于DX-3型扫描电子显微镜的试制任务至科仪厂。抱着“要做自己的电子显微镜”的信念，科仪厂于1975年研制成功我国首台扫描电子显微镜，样机通过了来自全国各地30多个单位，60多名代表的鉴定测试，分辨率优于10nm，主要指标达当时国际先进水平。

中国第一台扫描电子显微镜——DX-3型扫描电镜

1978年，中科科仪研制成功中国第一台扫描式离子探针—LT-1型离子探针质谱微分析仪，获中科院1978年度重大科技成果奖、科学大会奖。

离子探针质谱微分析仪（简称离子探针），是一种利用离子光学原理制成的大型精密科学仪器。它主要应用于表面微区薄层分析，是半导体集成电路、固体物理、表面科学、材料科学、环境科学、地球和空间科学等领域常用的分析手段。

离子探针起源于20世纪70年代，当时国际上多个国家在竞争性研制，中国科学院科学仪器厂早在1978年就研制成功了LT-1型离子探针质谱微分析仪，主要技术指标已达到了国外同类仪器水平。

（胡肇恒. "LT-1型离子探针质谱微分析仪." 物理 4(1978):233-239.）

中国第一台扫描式离子探针

——LT-1型离子探针质谱微分析仪

1979年，中科科仪研制成功我国第一台高分辨本领有机分析用质谱计算机联用仪——ZHP-5质谱计，获中科院1980年度重大科技成果一等奖。

有机分析质谱仪是一种用于生物学领域的分析仪器，广泛用于有机化学、生物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术等方面。

1979年，中国科学院科学仪器厂最近试制成功了我国第一台高分辨本领有机分析用质谱计算机联用仪——ZHP-5质谱计。来自全国三十一个科研、生产和使用单位的四十名同行专家，对这台仪器的各项技术指标进行了实测和鉴定。鉴定结果表明，该仪器的主要技术指标均超过原技术设计任务书的规定，进入国外同类仪器的行列。鉴定委员们认为，这台大型精密分析仪器的试制成功，为我国的高分辨有机质谱仪器填补了空白，标志着我国在质谱仪器制造上跨进了一大步。

（柯服. "ZHP-5高分辨有机质谱计试制成功." 质谱 (1981).）

中国第一台高分辨本领有机分析用

质谱计算机联用仪——ZHP-5质谱计

1983年，中科科仪研制成功中国第一台场离子显微镜—原子探针，获中科院1986年度科学技术进步奖二等奖。

场离子显微镜原子探针是研究金属、半导体材料微结构的一种大型精密分析仪器，它能直接分辨样品表面上的单个原子并鉴定其成分。

1983年，在中国科学院沈阳分院院长郭可信教授领导下,中国科学院科学仪器厂研制成功中国第一台场离子显微镜—原子探针，主要指标达到国际同类仪器的较好水平，填补了我国这一领域的空白，将我国金属材料微结构研究工作提高到原子级水平。当时共同参与研发任务的还有中科院金属研究所、沈阳科仪厂。

（群力. "场离子显微镜原子探针在我国首次研制成功." 质谱学报 04(1984):48-48.）

中国第一台场离子显微镜—原子探针

六十余年的发展历程中，中科科仪始终面向国家重大需求，走在国产科学仪器设备自主创新之路的最前沿。以一流电子光学和真空技术及多年科技成果转化经验，承担多项国家重大科学仪器专项，研制出多项打破国外垄断的首台套科学仪器装备与核心零部件，实现国内领域多项零的突破，为提高我国科学仪器设备的自主创新能力和自我装备水平发挥了重要作用。

2012年，中科科仪研制成功我国首台磁悬浮分子泵

磁悬浮分子泵是尖端科学仪器和关键工艺核心部件，是超高真空获得设备，凭借持续高排气能力、免维护、洁净无油等特点，可广泛应用于半导体制造、科研仪器、大科学装置、国防科技和航空航天等领域，为科研、生产等环节提供必要的洁净、超高真空环境。

2012年，中科科仪研制成功我国首台磁悬浮分子泵，掌握完全知识产权，填补了国内空白，在多个半导体装备头部企业实现国产替代，助力解决集成电路装备核心零部件“卡脖子”问题，为半导体产业链自主可控做出了贡献。

半导体专用磁悬浮分子泵

2014年，中科科仪研制成功我国首台场发射枪扫描电子显微镜

作为高端通用大型科学仪器，在纳米量级观测设备中，扫描电子显微镜与纳米科技、分子生物学研究、半导体制造检测技术等发展相互促进，是我国35项“卡脖子”技术之一。

2014年，中科科仪突破了多项技术壁垒，研制成功国内首创、具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率优于1.0nm，达国际同类产品一流水平，打破了国外的技术和市场垄断，已广泛应用于材料、物理、化学、生命科学等领域，开展纳米科技、半导体技术等方面的研究。

KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜

一代人有一代人的奋斗，一个时代有一个时代的担当。未来，中科科仪将始终牢记“创新科学仪器，发展一流企业”的初心使命，以崭新的面貌不断强化核心技术攻关，解决高端仪器装备的“卡脖子”和“空心化”问题，高质量引领重大科学仪器攻关及产业化发展，推动国产科学仪器关键科学技术领域再创新突破。