靶材

Au 靶为标配，可选 Pt，直径 57mm x 0.1mm 厚

标准样品台

可以装载 12 个 SEM 样品座，高度可调范围为 60mm

旋转倾斜样品台（选配）

旋转速度： 0~60rpm 连续可调，倾斜角度： -90 °~ 90°连续可调；

不锈钢腔体：直径 120mm X 高 75mm；

观察窗：直径 120mm X 高 45mm；

标配旋转台直径 40mm，可放 4 个标准样品台， 其它规格可订做； 具有双重锁紧装置， 可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。

溅射电流

微处理器控制， 安全互锁，可调，电流 5~30mA，程序化数字控制

计量表

真空：  Atm - 1*10-3 mbar，电流： 0~99mA

控制方法

带有 “开始”“暂停”按钮的微处理控制器（1－999s），自动抽气、溅 射、关机后自动放气。

真空系统

抽气速率

133L/MIN

极限真空

10-4  mbar 级

噪音

56dB