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石英坩埚
石英坩埚,具备高纯、耐热性强、规格大高精度、隔热保温性好、节约资源、品质平稳等优势,运用愈来愈普遍。石英坩埚的检验工作中是一个十分关键的阶段,并且石英坩埚的检验房屋朝向当场检验方位发展趋势!
1.石英坩埚可在1450度下列应用,分全透明和不全透明二种。用电孤法纪的透明色石英坩埚是拉制大直徑单晶硅,发展趋势规模性集成电路芯片不可或缺的基本原材料。现如今,全球半导体材料工业生产资本主义国家已用此坩埚替代了小的全透明石英坩埚。他具备高纯、耐热性强、规格大高精度、隔热保温性好、节约资源、品质平稳等优势。
2、不可以和HF触碰,高溫时,非常容易和苛性碱及碱土金属的硫化物功效。
3.石英坩埚适合用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔化试品和用Na2S207(先在212度风干)作熔剂解决试品。
4.石英石质脆,易破,应用时要留意。
5.除HF外,一般稀强氧化剂可作为清洁液。中国常见拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也是有生产厂家应用22及之上的坩埚。现阶段中国坩埚生产制造大厂家生产的坩埚技术性都较为完善。其生产制造应用原材料石英砂由美国品牌和丹麦高纯度石英砂二种。也是有小型加工厂应用国内料其原材料生产制造的石英坩埚对拉制单晶硅时其可靠性都是有一定危害。
现阶段坩埚生产制造镀层技术性已被大部分生产厂家应用便是在一般石英砂溶制的坩埚表层涂上一层二氧化钡水溶液使其产生高密度层,其高密度层能阻拦单晶硅高溫拉制全过程中硅与石英坩埚反映提升成晶率。
生产流程:
高纯度石英砂→高纯石墨磨具→真空泵放料成形→真空泵电孤熔制→当然制冷出模→石英坩埚基本检验→冷拉喷砂处理、断开、倒圆角→石英坩埚二次检验→洁净清理、超声波、髙压自喷、全自动风干。升温烤制,喷漆→石英坩埚三次检测→真空包装袋→制成品进库
石英坩埚的应用及维护保养:
石英坩埚关键成分是二氧化硅,除盐酸外不与其他酸功效,易与苛性碱及碱土金属硫化物功效。
石英坩埚对热的可靠性非常好,可立即放到火苗上加温
石英坩埚和玻璃容器一样,非常容易粉碎,应用时要非常当心
用石英坩埚可以用硫酸氢钾(钠),硫代硫酸钠(在212℃风干)等做为熔剂,熔化溫度不能超出800℃。
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