深圳市原速光电科技有限公司（Superald,LLC）是一家专注于原子层沉积（AtomicLayerDeposition，ALD）系统设计、工艺研发及技术咨询的高科技企业，为半导体、柔性显示、光学镀膜、太阳能电池及锂电池等领域的薄膜研发和生产提供优质的技术服务和一体化解决方案，致力打造全球一流的薄膜材料制备平台。工艺可沉积薄膜种类和应用场景包括：•High-K介电材料(Al2O3,H2O,ZrO2,PrA1Q,Ta205,La2O3);•金屬互联结构(Cu,WN,TaN,Ru,In);•催化材料(Pt,Ir,Co,TiO2):•生物医学涂层(TiN,ZrN,TiAIN,AlTIN);•金厲(R

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控制系统•控制系统采用PLC+工控机+19寸触摸屏方式实现，系统通过高速以太网进行通讯。•采用PLC对设备进行实时控制，同时实现基于Windows7操作系统的人机界面互动，支持历史数据、工艺配方、报警及日志的储存和导入导出的功能•设备支持“一键沉积”功能，点击运行按键即可自动完成真空抽取、升温、材料沉积、降温等一系列步骤。实现单一或多层材料的沉积；提供独立的手动操作页面，支持手动开关阀门的操作，人机交互同时支持鼠标、键盘和触摸的输入方式•设备运行软件提供用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，防止误操作，保证设备和人身安全•设备运行软件提供逻辑互锁功能，防止用户误操作，并弹出信息对话框进

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机架Cabinet•框架采用进口铝材搭建，重量轻、承载能力强，散热性好•外壳采用碳钢烤漆及圆角处理，轻便美观，拆卸方便，符合人体工学•显示屏360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停

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