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落后日本20年？半导体制造装置用精密陶瓷
【编者前言】按照目前的国际环境发展趋势，无论从成本还是从半导体生产安全性考虑，未来半导体设备中陶瓷零部件必须实现本土生产采购。半导体设备与材料产业的迫切需求会推动半导体装备用陶瓷零部件的研发与生产。【详细】
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