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主要特点：
◎ 能够达到学术研究级的多功能喷金仪
◎ 可安装两个2英寸溅射源
◎ 通用的溅射靶材
◎ 本底真空<5×10-7 mbar
◎ 流量计精确控制生长气氛
◎ 可调式DC溅射源，输出功率可达300W
◎ 全自动，引导式触屏控制
◎ 完备的安全性设计
◎ 易于维护
◎ 兼容超净室
◎ 稳定的性能表现
系统选件：
◎ 腔体视窗
◎ 真空泵型号可选
◎ 气压全自动控制系统
◎ 溅射源挡板
◎ 等离子体辉光电极
◎ 样品台旋转与倾斜
◎ 晶振膜厚监测系统
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