•产品名称：多功能平台聚焦扫描微区Ｘ射线光电子能谱仪

•产品型号：PHI15000VersaProbe

•品 牌：日美纳米表面分析仪器公司(U-P)

•产 地：日本

产品参数：

•仪器主机功能，单色化Al Kα ；

•大面积XPS ；

•Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥1，000，000 cps；

•Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥250，000 cps；

•小面积XPS，*小分析面积≤10μm ，性能指标应达到：

•Ag3d5/2，20μm，FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥15，000 cps；

•Ag3d5/2，10μm，FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥4，000 cps；

•Ag3d5/2，10μm，FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥12，000 cps；

•Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree ；

•75degree ；

•Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥99kcps ；

•Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥47kcps ；

•45degree ；

•Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥50kcps ；

•Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV时，灵敏度≥27kcps ；

•成像XPS ；

•单色化X射线扫描成像，**空间分辨率≤10 μm；

•深度剖析XPS ；

•聚焦扫描氩离子枪，当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm，当

working distance为60mm时候，聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2；

产品特点：

•世界上****扫描微聚焦X-射线source；

•世界上****扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像，可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。；

•可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上；