光学显微镜的图像通常是基于反射光、透射光或荧光的，而扫描电子显微镜的出现除了提供高于光学显微镜两倍数量级的分辨率以外还为样品的更深层次地研究提供了更多的可能性。因此，材料领域的分析很多时候是先将样品放在光学显微镜下，并使用明场、暗场、偏光或微分干涉等方法进行查找观察，然后再将样品中感兴趣的分析区域放在扫描电子显微镜下进行进一步地研究分析。不过，在这样的一个看似简单的操作过程中麻烦也随之而来——如何在扫描电子显 微镜下快速查找出光学显微镜中的感兴趣区域？

PHY-LEM光电镜联用系统解决了这个问题，光镜与扫描电镜使用同一个样品台；光镜观察的图像与电镜观察的图像共享坐标，通过电脑的控制，将通过光镜寻找到的兴趣点在电镜下准确无误的定位放大，巧妙的结合了光镜图像丰富和电镜倍数高的长处。分析效率高，两个图像互相参照，提供更加细致的分析。

主要特点

1．坐标共享光镜与扫描电镜使用同一个样品台；光镜观察的图像与电镜观察的图像共享坐标

2．精度高光镜的马达台与电镜马达台具有相近的精度（1um），精准定位同一坐标样品

3.图像共享 将光镜的图像，传输给电镜的电脑，并在电镜软件中的相关功能界面上显示，方便对比观察

4.坐标共通 光镜图像与电镜图像具有同样的坐标，画面一一对应，方便定位寻找

一、技术参数

1．光镜放大倍率（光学+数字）：100-200倍

2．聚焦方式：光学聚焦，手动聚焦，Z轴可大范围移动

3．电动位移平台

（1）精度：2.5um

重复定位精度：5um