仪器简介：

此系统通过手动或自动方式实现对材料表面的点电阻或面电阻进行测量表征，可通过图谱，数据，2D或3D方式体现；仪器与电脑连接使用，可通过专业软件进行控制，分析。表面电阻(ohm/sq)，电阻率（ohm.cm)测试理想的工具。

广泛应用于半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏。。。

技术参数：

面电阻测量：

- 测量模式 : 接触式 4-探针

电阻率测量：

- 测量模式 : 接触式 4-探针 (可输入厚度)

软件系统：

- 测量条件灵活 : Wafer type， 点间隔测量， etc.

- 储存& 下载 : 数据， wafer 型， 测试点， etc.

- 数据分析 : 2D， 3D mapping， data map， etc.

- On/Off : 电脑操控， 真空

- 数据 & mapping 可打印

测量模式 (S/W)

-自动检测: Point interval designation by user

-快速检测 : ASTM & SEMI Mode

-点测量: Appointment on wafer by mouse

-手动检测 : Appointment on wafer by arrow key

主要特点：

-X，Y，Z-轴全自动控制系统

-自动& 手动范围可选

-样品台尺寸可根据客户订制

-通过PC进行控制

-数据分析 (2D， 3Dmap etc)

-ASTM & SEMI 快速测量模式